大規(guī)模供氣系統(tǒng)

2021-12-23 09:25:02和立氣體（上海）有限公司

目前電子消費(fèi)品的種類繁多以及升級換代日趨頻繁，同類產(chǎn)品的不同制造規(guī)模、不同級別檔次的生產(chǎn)工廠和科研機(jī)構(gòu)共存?；谕顿Y規(guī)模和產(chǎn)品檔次的不同的實(shí)際要求，工業(yè)界對電子氣體輸送系統(tǒng)基本有三類需求，接下來和立帶大家了解大規(guī)模供氣系統(tǒng)。
大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠，100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的磊晶工序線、5代以上液晶顯示器工廠、光纖、硅材料外延生產(chǎn)線等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。
上述工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場制氣(On-site)或工業(yè)園區(qū)管道(Pipeline)集中供應(yīng)方式，一個(gè)年產(chǎn)5萬片的8英寸超大規(guī)模集成電路廠高純氮?dú)獾男枨蟪^5,000Nm3/h，發(fā)光二極管的磊晶工序線和硅外延生產(chǎn)線的氫氣需求超過100Nm3/h。
除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），魚雷車（13,400L）等。

大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)采用全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。特種氣體采用單獨(dú)氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用單獨(dú)的氣體房，單獨(dú)的抽風(fēng)系統(tǒng)。

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